
国家知识产权局信息显示放大杠杆炒股,天盛方储技术(上海)有限公司申请一项名为“化学机械研磨设备及其控制方法”的专利,公开号CN122851462A,申请日期为2026年8月。
专利摘要显示,本公开提供了一种化学机械研磨设备及其控制方法,涉及半导体技术领域。该设备包括:研磨端,包括相对设置的研磨衬垫与研磨头,待研磨件被约束于研磨头靠近研磨衬垫的一侧;研磨液存储设备,用于存储化学机械研磨液,化学机械研磨液包括双氧水;输送管路,一端与研磨液存储设备连接,另一端与研磨端的供液口连接,用于将研磨液存储设备内的化学机械研磨液输送至研磨端;紫外光照设备,用于在化学机械研磨液到达研磨端之前,对化学机械研磨液进行紫外光光照处理,以促进双氧水分解产生自由基;功率控制设备,与紫外光照设备连接,用于控制紫外光照设备的光输出功率。该设备能对研磨速率大小及研磨稳定性进行有效控制,改善研磨质量,提升产品良率。
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